溶液(蝕刻劑)的控制是化學(xué)蝕刻工藝的關(guān)鍵之一,直接關(guān)乎蝕刻效率、質(zhì)量及合格率。簡化投資模式時(shí),出于投資考慮均忽略了這一重要問題,造成了“靠師傅吃飯”的局面。
為破解這這道難題,同時(shí)滿足日益增長的產(chǎn)能需求,給蝕刻機(jī)(線)加配相應(yīng)的溶液在線控制添加系統(tǒng),成為多數(shù)企業(yè)主的明智選擇。
蝕刻溶液在線控制添加系統(tǒng)主要分為兩機(jī)型:
1、數(shù)顯式控制系統(tǒng);
2、人機(jī)界面式控制系統(tǒng)。
不論何種機(jī)型,均是通過取樣系統(tǒng)對工作液進(jìn)行在線分析,并自動(dòng)進(jìn)行相關(guān)成分的控量添加。
溶液在線控制添加系統(tǒng),可以新機(jī)配置,亦可對舊機(jī)進(jìn)行改造。